改半导体工业用高纯金属有机化合物前体材料M

科学技术部2007年10月10道在国家86 计划的持续支持下，我国MO源的研究和产业化取得了可喜成绩，在产品设计、合成制备、纯化技术、测试方法和封装容器等方面的研究水平不断提高，目前已开发出20多个MO源品种，其纯度达到99.999%-99.99995%，部分品种的研制技术进入世界领先行列，并实现了产业化。主要进展情况如下：

1．研制技术不断向高的层次发展，尤其是先进的配合物纯化技术在MO源纯化过程中的成功应用，大大提升了MO源的品质。

2．完成了第一条纯度为99.9999%的高纯三甲基镓生产线，年生产能力达到500公斤，产品的高质量得到用户充分肯定，产品占有国内（大陆）市场的近70%，同时，已销往台湾地区和韩国、日本等国家。

．正在建设第二条年产2000Kg的高纯三甲基镓生产线；完善建设年产 00公斤纯度为99.99995%的高纯三甲基铟生产线；建设第一条年产 00公斤纯度为99.99995%的高纯三甲基铝生产线。建成的生产线实现产销后，能满足目前国际市场有关产品需求量的40%左右。

4．世界最大的MO源研究生产基地英国的Epichem公司，经引起各方热议。但21世纪经济报道从权威渠道获得的相关信息与上流传的纪要内容有所不同过对南大光电高纯三甲基铟的严格考察，已经正式向南大光电订货。同时，高纯三甲基铟产品也已经经过德国著名的Osram公司的考核，开始正式供货。

国家86 计划从1986年启动之初就支持开展MO源预研工作，经过二十多年持续扶持，在南京大学等项目承担单位的共同努力下，1997年科技部(原国家科委)批准依托南京大学建立国家86 计划新材料MO源研究开发中心，“十五”期间MO源部分产品进入产业化实施阶段，以高纯三甲基镓、高纯三甲基铝、高纯三甲基铟和高纯二茂镁四个品种的知识产权作价入股，在苏州工业园区国际科技园成立“江苏南大广电材料股份有限公司”（以下简称南大光电），开始着手实施这四个品种的扩产试验工作，尤其是高纯三甲基铟和高纯三甲基铝的产业化。南京大学、南大光电和河北汇能电力电子有限公司还共同承担了“十一五”国家86 计划“半导体照明工程”重大项目的“8090游戏《奇迹来了》 是一款忠实于奇迹精神的3D角色扮演类页游戏。是全国第一款无插件3D页游戏、全国第一款可以局部换装的页游戏、全国第一款能海底游泳、天空飞翔战斗的页游戏高纯(6.5N)铝源、铟源生产工艺及其分析方法的研究”课题。2006年底，上海同华创业投资管理有限公司注入资金1000万元，江苏省科技厅风险创业投资配套资助500万元，共同参与二期工程建设。

MO源即高纯金属有机化合物前体材料是MOCVD(有机金属化学气相沉积)技术生长化合物半导体材料的支撑材料。MO源的品种及质量与MOCVD技术的进步直接相关。作为MO源的高纯金属有机化合物必须具有合适的结构、合适的蒸汽压、合适的分解温度和很高的纯度，一般商用产品的纯度要求在99.9999%以上。